（高精度恒溫恒濕潔凈空調(diào),超高精空調(diào)機）

　　佛山市佳以特冷熱設(shè)備有限公司從高精度、可靠性、節(jié)能性入手;研發(fā)生產(chǎn)出具有自主知識產(chǎn)權(quán)(國家專利號：ZL.6)的高精度空調(diào)、高精度恒溫恒濕潔凈空調(diào)，提供穩(wěn)定的溫度T±0.08℃（T=18-25℃），濕度RH±1％(RH=45-60%)的高精度空調(diào);高精度冷水機組和溫度T±0.1℃(T=10-25℃)；超高精度空調(diào)產(chǎn)品、超高精度冷水機組及其系統(tǒng)的整體解決方案。

　　佛山市佳以特冷熱設(shè)備有限公司開發(fā)了先進人工智能模糊控制系統(tǒng)；高精度冷、熱源平衡控制系統(tǒng)、高精度恒溫加濕系統(tǒng)，空氣潔凈過濾系統(tǒng)HEPA，均取得國家專利保護。具有控制精度高，正常情況下能在設(shè)置溫度±0.1℃內(nèi)的變化；從開機到溫度平衡穩(wěn)定運行時間短；對空調(diào)進風溫度變化要求低(進風±2℃/H的情況下出風口溫度能控制在±0.1℃/H內(nèi))，利用專利熱回收技術(shù)，對溫度進行調(diào)控，相比采用電加熱可控硅控制普通高精度空調(diào)耗電極底，確保高精度空調(diào)長期可靠穩(wěn)定運行，機身采用304鏡面不銹鋼機殼滿足對室內(nèi)高級別潔凈度的需求。

　　佳以特高精度恒溫恒濕空調(diào)應用于光學傳感器制造與測試環(huán)境，金屬納米級加工環(huán)境；高精密測量；半導體光刻機，LDI曝光、涂布等工藝環(huán)節(jié)；也可以用于：涂膠顯影機，電子束曝光；液晶等離子面板制造等各個行業(yè)領(lǐng)域，佳以特冷熱設(shè)備有限公司為客戶量身定制，OEM服務(wù)。

　　詳細資料請聯(lián)系：；王先生

　　1、光刻機專用空調(diào)機

　　2、涂膠顯影專用空調(diào)機

　　3、LDI曝光機專用空調(diào)機

　　測試結(jié)果：溫濕度控制曲線照片：

　　備注：綠色線為監(jiān)控曲線，紅色線為出風溫度曲線

　　備注：綠色線為監(jiān)控曲線，紅色線為出風溫度曲線