(半導(dǎo)體潔凈車間防塵用加濕機(jī))
半導(dǎo)體潔凈車間防塵用加濕機(jī):半導(dǎo)體是指常溫下導(dǎo)電性能介于導(dǎo)體與絕緣體之間的材料,我們最為常見的半導(dǎo)體就是硅,普通的沙子的主要成分就是二氧化硅,經(jīng)過提煉后就是硅了。半導(dǎo)體的作用很大,我們使用的電視還有電腦手機(jī)就有大量的半導(dǎo)體存在,可以說,如果沒有半導(dǎo)體那么電子行業(yè)就不會有現(xiàn)在這么發(fā)達(dá)。
半導(dǎo)體生產(chǎn)必須在潔凈車間下進(jìn)行,因?yàn)榘雽?dǎo)體的組件空間單位都是以微米計(jì)算的,一旦生產(chǎn)環(huán)境中出現(xiàn)灰塵顆粒粘附在半導(dǎo)體的晶圓上就會影響到精密導(dǎo)線的布局,造成短路或者是斷路的嚴(yán)重后果。所以半導(dǎo)體的潔凈車間必須要做好控制灰塵顆粒的工作。
那么該如何保證半導(dǎo)體的生產(chǎn)車間不會有灰塵顆粒呢?必須要做到以下幾點(diǎn):
1、不能攜帶進(jìn)入;對于潔凈車間來說,灰塵的主要來源就是人跟材料,所以所有的人在進(jìn)入潔凈車間就必須穿配套的防塵服,而且跟材料一樣需要經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。
2、在清洗半導(dǎo)體晶圓的時(shí)候必須使用去離子水,這是為了防止水中粉粒污染晶圓,另外是為了防止水中鈉鎂鈣離子污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)之帶電載子信道,確保半導(dǎo)體組件的工作特性。而且在干燥半導(dǎo)體晶圓的時(shí)候使用高純度的氮?dú)狻?/p>
3、在設(shè)計(jì)潔凈車間的時(shí)候就要考慮到靜電會吸附灰塵,所以建筑材料要使用不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì),而且材料要耐磨損,這樣在工作人員在走動的時(shí)候或者是搬運(yùn)材料的時(shí)候就不會有顆粒出現(xiàn)。
4、氣壓要比室外的要高,這樣可以保證將潔凈室內(nèi)的灰塵顆粒順利排放出去。所以大型的鼓風(fēng)機(jī)是不可缺少的,這樣可以快速排放室內(nèi)空氣,達(dá)到排放顆粒灰塵的目的。
5、配置加濕機(jī)來降塵。加濕機(jī)在潔凈室中的作用不止是降塵,還可以起到防范靜電的作用。靜電對半導(dǎo)體的影響也很大,不管是放電還是吸附灰塵到半導(dǎo)體組件的表面,都會影響到產(chǎn)品質(zhì)量,所以這個(gè)非常重要。加濕機(jī)有很多類型,濕膜的跟超聲波的,這兩種加濕方法各有優(yōu)點(diǎn),潔凈室可以根據(jù)自己的需要配置。